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[LV.7]常住居民III

发表于 2013-6-4 17:42:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
技术资讯 => 韩国真空技术中心发展概况
发布日期:[2005-2-19]    共阅[975]次
    摘要 : 2004 年 9 月 14 至 17 日,在韩国大田召开了第二届亚洲太平洋计量会议和压力与真空研讨会。会议主办单位是韩国标准科学研究院,有来自 8 个国家的近 30 名代表参加了会议,我们代表中国参加了这次会议。在这次会议上有 40 多篇学术论文进行了交流,是压力和真空计量专业会议,得到许多信息,有一定的参考价值。在会议上介绍了国防科工计量一级站真空计量标准,其中包括全压力计量标准,分压力计量标准,气体微流量计量标准,真空漏孔和正压漏孔校准装置等,真空度的校准范围为 (105 ~ 10-7 ) Pa ,气体微流量的校准范围为 (10-1 ~ 10-11 ) Pa·m3 /s ,可用于真空计,真空漏孔,正压漏孔和质谱计校准。在会议期间参观了韩国标准科学研究院,真空技术中心给人留下深刻影响,这里主要介绍真空计量中心。

真空技术中心概况

    韩国真空技术中心建立和维护着国家真空标准,量值传递,开展相关的研究,跟踪国际真空标准比对,以保证质量。真空技术的发展目标是,为国内真空设备提供技术数据,促进韩国的真空相关工业水平的提高。从 1999 年至 2003 年建立各种真空性能参数的评价系统,为了保证真空器件和真空系统达到 10-9 Pa 。

建立和维持国家真空标准

    韩国真空技术中心已经建立了从低真空、高真空、超高真空的计量标准,也建立了微小漏率计量标准,与美国 NIST 、日本 ETL 、英国 NPL 、意大利 IMGC 进行国际比对, KRISS 国家真空标准已得到认可,达到先进国家的水平,具有较高的超高真空获得和测量的水平。

真空技术的基础建设

    在韩国与真空有关的市场分额 60 亿美元,其中 90% 以上是进口真空设备。真空在半导体、纳米技术、航天技术,能源等高科技领域中有着广泛的应用和需求。韩国的真空技术的发展,需要可靠的技术数据和性能参数分析作为依据。为了满足韩国真空技术发展的要求,提出了国家真空技术的发展规划。第一阶段 : 1999 年 10 月 ~2003 年 10 月 , (4 年投资 800 万美元 ) ; 第二阶段 : 2003 年 10 月 ~2007 年 10 月 , (4 年投资 800 万美元 ) 。 由韩国科学技术部负责投资,由国家标准科学研究所( KRISS )真空技术中心负责实施。目前第一阶段的工作已经完成,正在进行第二阶段的工作。 发展目标是 建立性能评价系统,使国内的真空获得水平达到 10-9 Pa 。建立和保持真空泵、真空测量仪器、真空器件、真空材料、真空工艺处理系统的评价系统。提供与国际质量标准一致的实验数据和测试证书,为韩国真空应用单位服务。建立真空技术的数据库。制定和发布真空技术的信息。真空计量中心建立了 17 项性能评价系统,可对 72 项参数进行测试。真空泵的性能评价系统;真空测量仪器和性能评价系统;真空器件和性能评价系统;真空材料的性能评价系统;真空工艺处理系统的分析研究。 通过建立各种真空测试设备,以提升韩国的真空技术的水平;提供可靠的技术数据,以增强国民对真空产品的信心。在韩国计量科学研究院建立 “ 真空技术中心 ” ,有利于广泛开展与工业部门、大学、研究所的技术交流与合作,对外服务包括工业和研究单位要求对真空测量仪器的进行校准和检测。例如, 2001 年有来自 100 多家公司的真空仪器进行了 270 项测试。另外,解决了航天、航空、半导体等行业有关真空测试的问题。

真空技术基础建设的项目

真空泵性能评价:

    低真空泵和高真空的性能评价系统是按照国际测试标准建立的,测量范围从一个大气压到 10-9 Pa 。已建立了真空泵抽气能力和可靠性的评价方法,研究和发展了气体引入技术和标准流量引入技术。真空泵性能评价的测试项目如下:

低 / 高真空泵的性能评价:极限真空度,抽速,功耗,噪声,压缩比。

低真空泵性能评价:温升,振动,有效工作时间,噪声。

离子泵性能评价:极限真空度,抽速,抽气能力。

吸附泵性能评价:气体种类,吸附剂活性,吸附与温度的关系。

化学性能评价和抽气分析:气体分析,真空工艺处理过程分析。

真空器件性能评价:

    建立了漏率评价系统,用于各种真空系统测试。真空器件测试包括法兰,密封部件,阀门,高纯气体的管道组件等,真空器件的测试项目如下:

漏率评价系统:真空容器,加工件,电子器件,真空密封结构。

法兰与密封件:预紧力测试,变形量测试,耐压测试

高纯气体管道组件:流量系数,参数分析。

阀门:流导,耐压,压力波动,寿命,真空耐压。

真空测量仪器性能评价:

    建立的真空校准装置可对各种真空测量仪器进行精确校准,可对 RAG , QMS , MFC 性能进行测试,真空测试仪器的测试项目如下:

真空规:测量不确度与线性,气体灵敏度,长期稳定性,温度特性,内部电荷引起的压力变化(电离规)

质量流量控制器( MFC ) : 流量控制精度与线性,反应时间,流量与重复性,可靠性,质量流量的控制范围。

残余气分析器( RGA )和四极质谱计( QMS ) : 气体灵敏度等 8 项性能指标的测试。

真空材料的性能评价:

    建立的真空材料评价系统已用于真空泵油,陶瓷,金属材料的测试。真空材料的测试项目如下:

一般材料的测试:电阻系数,渗透率,沸点,粘滞性,蒸气压,粘接强度。

外加冲击性能:高电压,离子和电子轰击,热变形,等离子体轰击。

出气率测试:出气率,质量损失, CVTV (低温吸附)。

真空工艺处理设备的分析与评价:

    利用真空技术中心的技术优势,对外开展各种服务,更好发挥真空技术中心的作用,真空工艺处理设备的分析与评价,工作内容如下:

真空设备的分析评价:真空系统的极限压力,样品位置的温度变化,压力梯度,真空容器的温度梯度。

真空工艺设备的分析评价:二位空间均匀性,浓度,等离子体成份,纯度分析,大表面特性。

真空工艺处理参数测试:基本参数,流量控制,温度测量,离子能量密度,出气率,电子密度,污染粒子。

测量技术:气体流量, QMS ,离子能量分析器,电子探针等。

真空应用设备:刻蚀设备, CVD 设备,溅射设备,其它的真空工艺处理设备。

一点建议

    真空技术作为一门实用技术 , 已用于航天、航空、高能物理、可控热核聚变、表面物理、半导体、微电子等尖端科学研究领域,还用于电子管、电光源、电气、化学、光学、精密机械、冶金、汽车、核能、制冷、医学、制药、运输、食品、包装、玩具、装饰、日常用品等众多的工业领域和服务行业。真空测试要满足真空应用中量大面广的实际需要,解决真空应用中的真空测试问题,为真空应用提供测试服务和技术保障,这对于提高我国真空工业的技术水平有着重要的意义,我国应重视这方面的工作。

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[LV.4]偶尔看看III

发表于 2013-6-5 10:44:14 | 显示全部楼层
没看完~~~~~~ 先顶,好同志

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[LV.7]常住居民III

发表于 2013-6-5 12:07:15 | 显示全部楼层
帮帮顶顶!!

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[LV.8]以坛为家I

发表于 2014-11-17 10:29:39 | 显示全部楼层
为战而生,一切为了荣耀!生死之间,狙击未来! 这里就是为了阻击好帖子先占为先!支持

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[LV.10]以坛为家III

发表于 2014-11-17 14:29:25 | 显示全部楼层
大冬天的来暖贴,自己加深学习,是个多么美妙的事情啊

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[LV.10]以坛为家III

发表于 2015-1-29 08:39:51 | 显示全部楼层
好帖子就是梦,触摸不到的梦。遥不可及的梦。服了楼主强大支持

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[LV.10]以坛为家III

发表于 2016-4-12 14:30:34 | 显示全部楼层
小手一抖 经验到手 为了升级 到处游走 纯 属路过 马上飘走

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[LV.10]以坛为家III

发表于 2016-5-4 08:27:45 | 显示全部楼层
回复赚积分,感谢楼主分享,给辛苦的楼主点个赞

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[LV.10]以坛为家III

发表于 2016-6-16 08:15:40 | 显示全部楼层
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[LV.10]以坛为家III

发表于 2016-6-20 07:29:17 | 显示全部楼层
好帖子就是梦,触摸不到的梦。遥不可及的梦。服了楼主强大支持
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